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材料表征，是指通过各种物理、化学等测试方法，揭示和确定材料的结构特征。利用光束、电子束或其他粒子与样品的相互作用，产生表征材料结构特征的各种信息，从而给出形貌、成分和结构的丰富资料。
适用产品：电子产品，金属及非金属材料等。
| 分析手段 | 测试信号 | 测试范围 | 信号采集深度 | 优点 | 样品要求 |
| EDS | 电子 | 元素（Li-U） | 1-3μm | 低真空，景深大成像好 | 固体 |
| XPS | 光电子 | 元素（Li-U）+价态 | 5-10nm | 可以分析元素价态 | 固体 |
| AES | 俄歇电子 | 元素（Li-U） | 0.5-3nm | 分析区域最小，激发深度浅 | 导电固体 |
| TOF-SIMS | 二次离子 | 全元素及同位素 | 0.1-1nm | ppm级检出限，可检出官能团 | 固体 |
| D-SIMS | 二次离子 | 全元素及同位素 | 0.1-1nm | ppt级检出限，最大可以做100μm溅射深度 | 固体 |
.jpg) SEM + EDS | .jpg) AES | .jpg) XPS |
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