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时间:2025-05-28
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超准微观,探索微纳世界!
深圳市赛华检测技术有限公司,
聚焦离子束FIB技术,揭秘微小奥秘!
聚焦离子束
FIB
FIB相关介绍:
FIB(聚焦离子束,Focused Ion beam)是将Ga产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面,从而表征微观结构或截面的切割制样手段。
应用场景:FIB的相关应用
芯片电路修改
材料截面分析
TEM样品制备
FIB与其他制样手段对比
制样手段 | 方法介绍 | 优点 |
传统切片 | 通过研磨腐蚀等手段通过SEM表征截面形貌 | 成本低,适用大部分样品 |
离子研磨 CP | 通过氩Ar离子束束斑对表面轰击处理 | 不引入污染,无拖尾影响,微米级别 |
聚焦离子束 FIB | 一般通过镓Ga离子轰击材料表面做离子切割 | 定位精准,可以测试纳米级位置 |
传统切片手段
孔铜晶格
线路板铜CP
处理后截面图
FIB切割
铜晶格
典型案例
背景信息:
客户PCB盲孔底部疑似断裂,传统切片分析手段可能会对断裂位置造成误判,所以推荐客户通过FIB手段直观的观察到断裂位置的微观形貌及晶格状态。
测试结果:
测试位置
截面图1
截面图2
截面图3
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