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聚焦离子束FIB:探索微观世界

时间:2025-05-28

点击:13

超准微观,探索微纳世界!

深圳市赛华检测技术有限公司,

聚焦离子束FIB技术,揭秘微小奥秘!


聚焦离子束

FIB

FIB相关介绍:

FIB(聚焦离子束,Focused Ion beam)是将Ga产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面,从而表征微观结构或截面的切割制样手段。


应用场景:FIB的相关应用


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芯片电路修改

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材料截面分析

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TEM样品制备


FIB与其他制样手段对比

制样手段

方法介绍

优点

传统切片

通过研磨腐蚀等手段通过SEM表征截面形貌

成本低,适用大部分样品

离子研磨

CP

通过氩Ar离子束束斑对表面轰击处理

不引入污染,无拖尾影响,微米级别

聚焦离子束

FIB

一般通过镓Ga离子轰击材料表面做离子切割

定位精准,可以测试纳米级位置

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传统切片手段

孔铜晶格

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线路板铜CP

处理后截面图

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FIB切割

铜晶格


典型案例

背景信息:

客户PCB盲孔底部疑似断裂,传统切片分析手段可能会对断裂位置造成误判,所以推荐客户通过FIB手段直观的观察到断裂位置的微观形貌及晶格状态。


测试结果:


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测试位置

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截面图1


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截面图2

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截面图3




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赛华检测成立于2019年6月,目前在深圳具备显微分析、器件分析、化学、热分析、电性能、无损、机械性能、可靠性等检测能力,主要开展材料检测、失效分析、技术咨询服务,除此之外还涉及ISO、ETL、CE、CCC、CQC、UL认证等服务,为客户在产品研发、生产、销售等各环节提供全方面检测与认证服务。



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