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FIB+SEM项目介绍2026-01-20
聚焦离子束-扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是一种将聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)相结合的高端分析仪器,通过整合气体沉积装置、纳米操纵仪等附件,实现微区成像、加工和三维重构功能。该系统利用离子束进行样品切割、刻蚀或沉积处理,同时借助电镜进行纳米级分辨率成像,广泛应用于半导体、新能源和材料科学领域。代表...
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