XPS（X射线光电子能谱）是一种重要的表面分析技术，广泛应用于材料科学、化学、物理等领域。其主要功能是通过测量材料表面或界面的元素组成和化学状态，提供高分辨率的定性和定量分析结果。

XPS基于X射线照射样品表面后，从材料表面逸出的光电子的能量分布。通过测量这些光电子的能量，可以推断出样品表面的元素种类、化学结合状态及化学态分布。

材料科学

用于分析薄膜材料的表面组成和界面化学行为。

能源与环境

研究太阳能电池、燃料电池等材料的表面特性。

生物材料

用于生物医学材料表面的元素分布和化学状态研究。

半导体器件

检测半导体晶片表面污染情况，例如氧化或腐蚀现象；

检测硬件组件（如“金手指”）的表面缺陷；

分析金属与半导体接触处的化学成分和界面结构；

检测半导体制造过程中引入的污染物。

1、样品制备

样品需保持清洁且无污染，通常需要在超高真空环境下进行处理。

2、测试设置

选择合适的X射线源，设置扫描深度范围（通常为1-10nm）。

3、数据采集

通过扫描不同区域或深度，获取光电子的强度分布数据。

4、数据分析

利用软件（如Avantage、PeakFit等）对谱图进行拟合和解析，提取元素种类、结合能及化学态信息。

高分辨率和灵敏度，适用于轻元素（如C、N）检测。

非破坏性分析，可重复多次测量。

提供定性和定量分析结果，适合复杂样品多元素分析。

综上，XPS技术凭借其高灵敏度、高分辨率和非破坏性特点，在半导体器件的研发、制造和失效分析中发挥了重要作用。它不仅能够提供表面化学成分和氧化层的信息，还能帮助研究界面电子状态、污染元素以及材料的物理化学性质，从而为优化工艺和提高产品质量提供有力支持。

赛华检测成立于2019年6月，目前在深圳具备显微分析、器件分析、化学、热分析、电性能、无损、机械性能、可靠性等检测能力，主要开展材料检测、失效分析、技术咨询服务，除此之外还涉及ISO、ETL、CE、CCC、CQC、UL认证等服务，为客户在产品研发、生产、销售等各环节提供全方面检测与认证服务。